水质参数:

出 水 口：两个 （实验用水.冲洗用水一机两用，节约制水成本）

★ 水    质：出水口一：国家实验室一级超纯水质：电阻率≥18.25MΩ.cm@25℃，电导率：0.055us/cm

微颗粒物（<0.22um）＜1/ml; 吸光度(254nm,1cm光程,重金属去除率≥99%，重金属含量(ppb.max):<0.01.;  微生物含量：＜1CFU/m1; 总有机碳量TOC：10ppb; 可溶性硅（si<0.01mg/L, 蒸发残渣（105±2℃，mg/L                     出水口二：国家实验室三级出水口水质：符合ASTM、CAP、NCCLS和*GB6682-2008的三级水标准。电导率1-5μs/cm，脱盐率达98% 可氧化物质（以0计）<0.40mg/L 蒸发废渣（105±2℃):≤2.0mg/L